日本三鷹MITAKA激光共聚焦顯微鏡 2D/3D點自動對焦表面形狀測量機

日本三鷹MITAKA激光共聚焦顯微鏡 2D/3D點自動對焦表面形狀測量機

日本三鷹MITAKA PF-60非接觸式激光表面形貌測量裝置 

產品概述：

● 測量范圍廣、精度高。

  半徑R0.5Mm激光測頭和高精度的X丫載物臺，能夠測量幾十毫米的面積范圍。精度可達到亞微米級。
（測量范圍：XYZ=60mm X 60mm X 10mm,分辨率：X丫=0.1 卩m, Z=0.01 pm）

● 具有Scan AF的高速測定模式。

● 與國際粗糙度標準具有高度相關性。

● 標配的MitakaMap軟件，可對應ISO國際標準的2D/3D表面粗糙度/形狀測量標準。

● 緊湊的尺寸，只需要400mm x 400mm 的空間即可安裝。設備重量31kg。

ISO承認的三鷹測量方法
在2008年，三鷹光器的非接觸式測量原理，已經被納入國際標準化組織（International Standard Organization ） ISO 25178-6面領域表面紋理分類方法中的”自動對焦分析” （ISO25178-605： Point Autofocus Probe ）。

測量原理

測定概要    
PF-60由自動對焦激光束顯微鏡（AF顯微鏡）和高精度移動的XY 載物臺組成。AF顯微鏡測量Z方向的高度變化，搭配載物臺XY方 向的移動，可對樣品表面做二次元或三次元的測量。
XY軸移動載物臺 ■ '
配備光柵尺的高精度XY軸移動載物臺，在移動中能夠讀取XY座標值。

  在移動范圍（60mm*60mm）內可連續測量。視野不受限、數 據不需拼接，可實現大范圍、高精度的測量。
自動對焦系統  
高度測量用的AF顯微鏡，是通過上圖紅色激光束光路，以一個 半徑為0.5卩m的激光探針通過透鏡，在工作表面成像。
反射的激光束從工作表面在通過透鏡，在AF傳感器上成像，激 光對焦位置發生改變，AF傳感器上的激光位置也會發生變化。
AF傳感器偵測雷射光點的實時位移，并且根據光的變化調整AF 顯微鏡到對焦位置（使雷射點在AF傳感器的中心成像）