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日本三鷹MITAKA激光共聚焦顯微鏡 2D/3D點自動對焦表面形狀測量機

日本三鷹MITAKA激光共聚焦顯微鏡 2D/3D點自動對焦表面形狀測量機
  產品詳情

日本三鷹MITAKA激光共聚焦顯微鏡 2D/3D點自動對焦表面形狀測量機

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日本三鷹MITAKA PF-60非接觸式激光表面形貌測量裝置 

MITAKA pf-60

產品概述:

測量范圍廣、精度高。

  半徑R0.5Mm激光測頭和高精度的X丫載物臺,能夠測量幾十毫米的面積范圍。精度可達到亞微米級。
(測量范圍:XYZ=60mm X 60mm X 10mm,分辨率:X丫=0.1 卩m, Z=0.01 pm)

 

● 具有Scan AF的高速測定模式。

 

● 與國際粗糙度標準具有高度相關性。

 

● 標配的MitakaMap軟件,可對應ISO國際標準的2D/3D表面粗糙度/形狀測量標準。

 

 

● 緊湊的尺寸,只需要400mm x 400mm 的空間即可安裝。設備重量31kg。

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ISO承認的三鷹測量方法
在2008年,三鷹光器的非接觸式測量原理,已經被納入國際標準化組織(International Standard Organization ) ISO 25178-6面領域表面紋理分類方法中的”自動對焦分析” (ISO25178-605: Point Autofocus Probe )。


測量原理

測定概要    
PF-60由自動對焦激光束顯微鏡(AF顯微鏡)和高精度移動的XY 載物臺組成。AF顯微鏡測量Z方向的高度變化,搭配載物臺XY方 向的移動,可對樣品表面做二次元或三次元的測量。
XY軸移動載物臺 ■ '
配備光柵尺的高精度XY軸移動載物臺,在移動中能夠讀取XY座標值。

  在移動范圍(60mm*60mm)內可連續測量。視野不受限、數 據不需拼接,可實現大范圍、高精度的測量。
自動對焦系統  
高度測量用的AF顯微鏡,是通過上圖紅色激光束光路,以一個 半徑為0.5卩m的激光探針通過透鏡,在工作表面成像。
反射的激光束從工作表面在通過透鏡,在AF傳感器上成像,激 光對焦位置發生改變,AF傳感器上的激光位置也會發生變化。
AF傳感器偵測雷射光點的實時位移,并且根據光的變化調整AF 顯微鏡到對焦位置(使雷射點在AF傳感器的中心成像)


 

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